按照科技部国家科技重大专项02专项办公室的统一安排,国家科技重大专项“硅材料设备应用工程”专家组一行6人于2010年8月3日来到我校,对我校承担的国家科技重大专项课题“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”进行了中期检查。
专家组来到依托我校建设的“晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心”,现场参观、考察了我校自主研发的300mm硅单晶直拉生长装备。随后,在中心会议室,校长刘丁代表学校对专家组来到我校检查指导工作表示热烈欢迎,并从课题进展情况、主要创新点、研发成果、配套条件落实、经费使用情况等五个方面对我校承担的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”课题进行了工作汇报。
在听取汇报后,专家组充分肯定了课题研究取得的成绩,一致认为,我校自主研发、配备有国内第一台电子级单晶炉用大尺寸勾型磁场的“300mm硅单晶直拉生长装备”已具备拉晶试验条件,完成了重大专项合同该时间节点的各项任务。
目前,课题组正积极与项目责任单位协商进行拉晶实验,并将根据实验情况继续完善系统功能和提升工艺水平,为责任专家的检查和评估验收做好准备。


